压力缓冲装置及包括该压力缓冲装置的蓄热燃烧式废气处理装置

摘要

提供一种压力缓冲装置，不会增加连接流体供给源与对该流体进行处理的处理装置的管道的压力损失，并能有效地吸收因处理装置的动作而在管道内产生的流体压力变动。此外，提供一种由于包括上述压力缓冲装置，因此能够抑制运转成本的增加及设备整体的大型化的蓄热燃烧式废气处理装置。具有：在两端部设置有入口管及出口管且具有一定容积的腔室；以及将腔室内分割成多个空间并形成有许多冲压孔或筛孔的多孔板，通过将多孔板与流体的流动方向相对地以规定间隔配置来将腔室内形成多个压力缓冲室，在除了位于流体的流动方向的最上游侧及最下游侧的压力缓冲室之外的、位于中央部的压力缓冲室中设置有对该压力缓冲室的内压进行检测的压力检测元件。最好将压力缓冲装置设置在作为处理装置的一例的蓄热燃烧式废气处理装置中。

说明书

技术领域

本发明涉及一种设置在连接流体供给源与对该流体进行处理的处理装 置的管道之间的压力缓冲装置及包括该压力缓冲装置的蓄热燃烧式废气处 理装置。

背景技术

从涂装工厂等排出的含有挥发性有机化合物(V℃)的废气会受到排放 限制。在这些工厂中，在对含有挥发性有机化合物的废气进行分解处理时， 例如，使用图6所示的蓄热燃烧式废气处理装置1'(例如参照专利文献1)。

上述蓄热燃烧式废气处理装置1'由燃烧室3、三个蓄热室(5A、5B、 5C)、被处理气体供给管7(被处理气体供给流路)、处理气体排气管8(处 理气体排气流路)以及吹扫气体抽出管9(吹扫气体流路)构成，其中，上 述燃烧室3具有燃烧器2，上述三个蓄热室(5A、5B、5C)分别与上述燃烧 室3连通，并且各自内置有蓄热体4，上述被处理气体供给管7与风扇6 连通，并将从未图示的含有挥发性有机化合物的废气(以下称为“被处理气 体”)供给源供给来的被处理气体经由任意的蓄热室、例如5A向燃烧室3 供给，上述处理气体排气管8将在燃烧室3中经加热分解(氧化分解)处理 后的处理气体经由另一蓄热室、例如5B进行排气，上述吹扫气体抽出管9 将燃烧完成后的处理气体的一部分作为吹扫气体，经由在前置工序中被处 理气体所经过的蓄热室、例如5C回流至风扇6的上游侧。

如图6所示，在被处理气体供给管7上设置有第一开闭阀1OA、10B、 10C。在处理气体废气管8上设置有第二开闭阀11A、11B、11C。在吹扫气 体抽出管9上设置有第三开闭阀12A、12B、12C。另外，在吹扫气体抽出管 9上设置有调节阀13，该调节阀13对阀开度进行调节以使吹扫气体的流量 保持恒定。此外，在与风扇6的吸入侧连接的被处理气体导入流路14与吹 扫气体抽出管9的汇流点的上游侧，设置有被处理气体供给阀15。

利用上述蓄热燃烧式废气处理装置1'对被处理气体进行的处理按以下 方式进行。首先，从未图示的被处理气体供给源供给来的被处理气体经由 被处理气体供给阀15导入风扇6的吸入侧。接着，从风扇6供给来的被处 理气体在从被处理气体供给管7供给到三个蓄热室5A、5B、5C中的、在前 置工序中蓄热的蓄热室、例如5A之后，通过与该蓄热室5A的蓄热体4进 行热交换而被预热，从而导入燃烧室3(被处理气体供给工序)。

接着，被处理气体的有机成分在燃烧室3中被加热分解处理，而成为 例如80O℃的处理气体。然后，高温的处理气体经过在前置工序中因与被处 理气体的热交换而降温的蓄热室、例如5B，并在与该蓄热室5B的蓄热体4 进行热交换而降温到100℃～150℃后，从处理气体排气管8向大气排放(处 理气体排气工序)。

另外，在燃烧室3生成的处理气体的一部分作为吹扫气体，被供给到 在前置工序中被处理气体所经过的蓄热室、例如5C的蓄热体4，在将残留 于该蓄热体4内部的含有有机化合物的被处理气体去除之后，吹扫气体经 由吹扫气体抽出管9而回流至被处理气体导入流路14(吹扫工序)。此外， 除了如上所述将处理气体的一部分用作吹扫气体之外，吹扫气体有时也使 用从另行设置的风扇等供给来的清洁的空气。

接着，第一开闭阀1OA、10B、10C、第二开闭阀11A、11B、11C、第三 开闭阀12A、12B、12C每隔规定时间进行切换。即，在经过规定时间(例如 1分钟)后，将第一开闭阀10A、第二开闭阀11B及第三开闭阀12C从“开” 切换成“关”，将第一开闭阀10B、第二开闭阀11C及第三开闭阀12A从“关” 切换成“开”，被处理气体从被处理气体供给管7供给到在前置工序中通 过处理气体加热的蓄热室5B的蓄热体4，并在通过与蓄热体4的热交换而 被预热后，在燃烧室3内被加热分解(氧化分解)处理，上述处理气体从前 置工序中被吹扫的蓄热室5C经由第二开闭阀11C及处理气体排气管8而向 大气排放。

另一方面，在燃烧室3中生成的处理气体的一部分被作为吹扫气体供 给至蓄热室5A。吹扫气体在去除残留于蓄热体4内的含有有机化合物的被 处理气体之后，经由第三开闭阀12A及吹扫气体抽出管9而回流至被处理 气体导入流路14。然后，在经过规定时间之后，切换各开闭阀，以分别地 在蓄热室5C中进行被处理气体供给工序，在蓄热室5A中进行处理气体废 气工序，在第二蓄热室5B中进行吹扫工序。这样在蓄热燃烧式废气处理装 置1’的操作中，使每隔规定时间在各蓄热室5A、5B及5C之间依次切换被 处理气体供给工序、处理气体排气工序及吹扫工序的动作持续规定时间。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2011－102664号公报

在上述蓄热燃烧式废气处理装置1’的被处理气体供给工序中，通过 第一开闭阀1OA、10B及10C的开关动作，来进行各蓄热室5A、5B、5C中 的任一蓄热室与被处理气体供给管7的连接(即被处理气体的流路的切换)。

但是，第一开闭阀1OA、10B及10C的开关动作所带来的压力变动会传 递至将蓄热燃烧式废气处理装置1’与被处理气体供给源连接的管道。在当 管道内的压力变动增大时被处理气体的发生源(生产线)例如会在带状的 基材薄膜上涂覆树脂溶液的涂布机的情况下，则存在使基材薄膜抖动而无 法保持稳定的状态等对生产线带来不良影响的问题。

为了解决上述问题，可考虑采用例如在管道内呈锯齿状地配置挡板来 使被处理气体的流动蜿蜒曲折，以在管道内产生较大的压力损失来缓和压 力变动的方法，亦或是采用在管道途中设置对大气进行吸引的吸气口，并 在因压力变动使管道内呈负压时对大气进行吸引来缓和压力变动的方法。

但是，对于上述方法中的前者而言，由于在管道内产生较大的压力损 失，因此，需要动力较大的风扇，存在由此使电力消耗增大这样的问题。 此外，对于上述方法中的后者而言，由于使用大气对被处理气体进行了稀 释，因此，会使被处理气体的处理量增加，由此导致燃烧室3、蓄热室5A、 5B、5C等附属设备的规模大型化，其结果是，存在设备整体大型化这样的 问题。

发明内容

因此，本发明的目的在于，提供一种压力缓冲装置，不会增加连接流 体供给源与对该流体进行处理的处理装置的管道的压力损失，并能有效地 吸收因处理装置的动作而在管道内产生的流体压力变动。

此外，本发明的另一目的在于提供一种蓄热燃烧式废气处理装置，由 于包括上述的压力缓冲装置，因此，能够抑制运转成本的增加及设备整体 的大型化。

本发明的压力缓冲装置设置在连接流体供给源与对该流体进行处理的 处理装置的管道之间，对因上述处理装置的动作而在上述管道内产生的流 体压力变动进行吸收。上述压力缓冲装置具有：腔室，在该腔室的两端部 分别设置有供上述流体流入的入口管和供该流体排出的出口管，且具有一 定容积；以及多孔板，该多孔板将上述腔室内分割成多个空间，并形成有 许多冲压孔或筛孔。通过将上述多孔板与上述流体的流动方向相对地以规 定间隔配置，从而将上述腔室内形成多个压力缓冲室。

此外，较为理想的是，在多个上述压力缓冲室中除了位于上述流体的 流动方向的最上游侧和最下游侧的压力缓冲室之外的、位于中央部的压力 缓冲室中，设置有对该压力缓冲室的内压进行检测的压力检测元件，并在 上述流体的流动方向的最下游侧的压力缓冲室设置有大气导入元件，该大 气导入元件在因上述处理装置驱动而在该压力缓冲室内产生负压时对大气 进行吸引。

此外，本发明的蓄热燃烧式废气处理装置包括：燃烧室，该燃烧室具 有燃烧器；两个以上的蓄热室，这些蓄热室分别与上述燃烧室连通，并且 各自具有蓄热体；被处理气体供给流路，在该被处理气体供给流路中设有 风扇，使从流体供给源供给来的被处理气体经过上述蓄热室中的、在前置 工序中蓄热的蓄热室，通过使上述被处理气体与上述蓄热室的蓄热体进行 热交换来对其进行预热，并将上述被处理气体向上述燃烧室供给；处理气 体排气流路，在该处理气体排气流路中，使在上述燃烧室中经加热分解处 理后的处理气体经过上述蓄热室中的、在前置工序中因与上述被处理气体 的热交换而降温的蓄热室，通过使上述处理气体与上述蓄热室的蓄热体进 行热交换来使其降温，并将上述处理气体排放；吹扫气体流路，在该吹扫 气体流路中，将吹扫气体供给到在前置工序中上述被处理气体所经过的蓄 热室的蓄热体；切换机构，该切换机构在各上述蓄热室之间依次切换上述 被处理气体的供给、上述处理气体的排气及上述吹扫气体的供给；以及上 述压力缓冲装置。

较为理想的是，基于所述压力检测元件的压力值，对所述风扇的转速 进行控制，以使所述中央部的压力缓冲室的内压保持在预先确定的压力范 围内。

根据本发明，能够提供一种不会增加连接流体供给源与对该流体进行 处理的处理装置的管道的压力损失，并能有效地吸收因处理装置的动作而 在管道内产生的流体压力变动的压力缓冲装置。

此外，能够提供一种由于包括上述压力缓冲装置，因此能够抑制运转 成本的增加及设备整体的大型化的蓄热燃烧式废气处理装置。

附图说明

图1(a)是本发明实施方式的压力缓冲装置的侧剖视图，图1(b)是 表示多孔板的一例的、图1(a)的A－A剖视图，图1(c)是表示多孔板 的变形例的、图1(a)的A－A剖视图。

图2是对由图1的压力缓冲装置带来的压力变动降低状态进行说明的 波形图。

图3是本发明实施方式的蓄热燃烧式废气处理装置的示意结构图。

图4是图3所示的蓄热燃烧式废气处理装置中设置的压力缓冲装置的 侧剖视图及对被处理气体在上述压力缓冲装置内流动的状态进行说明的 图。

图5是具有利用旋转式切换阀(分配阀)来切换与各蓄热室的连接的 结构的蓄热燃烧式废气处理装置的示意结构图。

图6是现有的蓄热燃烧式废气处理装置的示意结构图。

(符号说明)

1 蓄热燃烧式废气处理装置

2 燃烧器

3 燃烧室

4 蓄热体

5A～5C 蓄热室

6 风扇

7 被处理气体供给管

8 处理气体排气管

9 吹扫气体抽出管

14 被处理气体导入流路

20 压力缓冲装置

21 腔室

22 入口管

23 出口管

29 多孔板

40 压力计

42 调节阀

60 压力调节器

62 变频器

210 第一压力缓冲室

211 第二压力缓冲室

212 第三压力缓冲室

具体实施方式

以下，依据附图，对本发明实施方式的压力缓冲装置进行说明。在以 下的说明中，为了方便说明而采用表示方向及位置的词语(例如“上游” 或“下游”等)，它们用于使发明容易理解，并不因这些词语的含义而对 本发明的技术范围产生限定。另外，以下的说明不过是本发明一实施方式， 并不旨在对本发明的适用对象或其用途进行限制。

本发明的实施方式的压力缓冲装置设置在连接流体供给源与对该流体 进行处理的处理装置的管道(均未图示)之间，对因处理装置的动作而在 管道内产生的流体压力变动进行吸收。

如图1(a)所示，压力缓冲装置20包括：作为具有一定容积的压力 缓冲室的圆筒状的腔室21(流体室)；设置于腔室21的入口侧端部25的 入口管22；以及设置于上述腔室21的出口侧端部27的出口管23。在此， 上游侧表示被处理气体24的供给源侧，下游侧表示处理装置(例如蓄热燃 烧式废气处理装置)一侧、即压力变动发生源侧。

腔室21的入口侧端部25被安装有入口管22的凸缘26封闭。腔室21 的出口侧端部27同样地被安装有出口管23的凸缘28封闭。如图所示，腔 室21的横截面积设置成比入口管22及出口管23的横截面积大。具体来说， 较为理想的是，腔室21的横截面积为入口管22及出口管23的横截面积的 大约10倍以上。

在腔室21的内部，与被处理气体24的流动方向相对地以规定间隔配 置有多孔板29。

如图所示，在本实施方式中，利用两块多孔板29，将腔室21的内部 从上游侧依次分割为第一压力缓冲室210、第二压力缓冲室211及第三压力 缓冲室212这三个压力缓冲室。

多孔板29整体形成为圆板状。上述多孔板29的外径形成为与腔室21 的内径大致相等的尺寸，并且，以该多孔板29的外周与腔室21的内周接 触的方式安装。

多孔板29可使用图1(b)所示的具有多个冲压孔(小孔)290的冲孔 板，或使用图1(c)所示的具有网格状的开口(筛孔部)291的筛孔板。 多孔板29的开口率(开口部相对于冲孔板或筛孔板整体的面积比)随着压 力变动的程度而定，但为了避免压力损失增大，一般最好为50％～60％的 开口率。在本实施方式的压力缓冲装置20中，采用开口率为51％的冲孔板。

构成腔室21、入口管22、出口管23及多孔板29的材料为铁、不锈钢、 铝、铜等金属材料。此外，考虑到耐腐蚀性，也可以由例如SUS316等不锈 钢材料来构成上述各部件。另外，在本实施方式中，例示了圆筒状的腔室 21，但是，例如也可以是长方体状的腔室21，其形状并不受限定。多孔板 29的形状也能够随着腔室21的形状改变，这点是自不待言的。

接着，对由上述构成形成的压力缓冲装置20的作用进行说明。如图2 (a)所示，从压力变动发生源传递来的脉冲式的压力变动在通过从出口管 23向第三压力缓冲室212的流路截面积的扩大、从第三压力缓冲室212向 第二压力缓冲室211移动时的多孔板29的阻力、从第二压力缓冲室211向 第一压力缓冲室210移动时的多孔板29的阻力、从第一压力缓冲室210向 入口管22的流路截面积的缩小而被缓和，从而减少向流体供给源侧的传递。 这样，压力变动通过第一至第三压力缓冲室210、211、212的容量和由多 孔板29带来的阻力的组合，而被有效吸收，从而如图2(b)所示能使脉冲 振幅缓和。

接着，依据附图，对本发明的包括压力缓冲装置的蓄热燃烧式废气处 理装置进行说明。图3表示本实施方式的蓄热燃烧式废气处理装置1的示 意结构。该蓄热燃烧式废气处理装置1包括：燃烧室3，在该燃烧室3中， 使用燃烧器2对被处理气体进行加热来对该被处理气体中含有的VOC等有 机化合物进行加热分解(氧化分解)处理；以及三个蓄热室5A、5B、5C， 这三个蓄热室5A、5B、5C收纳有与通过上述燃烧室3加热后的被处理气体 进行热交换的蓄热体4，上述蓄热燃烧式废气处理装置1构成为所谓的三塔 式的蓄热燃烧式废气处理装置。

如图所示，由于本实施方式的蓄热燃烧式废气处理装置1的基本结构 与在图6中说明的蓄热燃烧式废气处理装置1’相同，因此，对相同的结构 部分标注相同符号，而省略其说明。

如图3所示，在蓄热燃烧式废气处理装置1的燃烧室3中设置有对该 燃烧室3内的温度进行测量的温度计30。温度计30与温度调节器31电连 接，温度调节器31与燃烧器2电连接。温度调节器31预先设定了用于将 燃烧室3内的温度控制到规定温度(例如820℃)的上限、下限设定值，将 该设定值与由温度计30检测出的温度信号进行比较，并根据其偏差对控制 信号进行PID运算，从而对燃烧器2的燃烧功率(日文：燃焼容量)进行 控制。具体来说，执行如下打开－关闭控制，在燃烧室3内的温度从控制 温度下降到800℃时开始燃烧器2的燃烧，在燃烧室3内的温度从控制温度 上升到840℃时停止燃烧器2的燃烧。

在供给到蓄热燃烧式废气处理装置1的被处理气体的VOC浓度为高浓 度(例如3000～5000ppm)的情况下，燃烧室3的温度因被处理气体中含有 的溶剂热量而逐渐上升。若这种状态继续，则燃烧室3的温度会进一步上 升，而使燃烧室3的温度将变得困难。因而，在燃烧室3中设置有热旁通 阀34，该热旁通阀34将一部分高温的燃烧气体从释放口32经由热旁通流 路33释放，在风扇6与被处理气体供给阀15之间的被处理气体导入流路 14中连接有稀释阀35。

如图所示，热旁通阀34和稀释阀35与温度调节器31电连接，在燃烧 室3的温度因被处理气体中含有的溶剂热量而上升到例如880℃以上的情 况下，将热旁通阀34打开，来将一部分高温的燃烧气体从释放口32经由 热旁通流路33释放，以防止燃烧室3的温度过度上升。

在即便这样燃烧室3的温度仍然上升的情况下，通过将稀释阀35打开 来引入外部气体，在将被处理气体的浓度稀释之后供给到蓄热燃烧式废气 处理装置1，藉此来防止燃烧室3的温度过度上升。

接着，对本实施方式的蓄热燃烧式废气处理装置1的特征进行说明。 如图3所示，在将和被处理气体供给源50连通的被处理气体供给风扇52 与被处理气体供给阀15连接的被处理气体导入流路14中，设置有压力缓 冲装置20。

本实施方式的蓄热燃烧式废气处理装置1所具有的压力缓冲装置20在 第一压力缓冲室210、第二压力缓冲室211及第三压力缓冲室212中除了位 于被处理气体的流动方向的最上游侧的第一压力缓冲室210和最下游侧的 第三压力缓冲室212之外的、位于中央部的第二压力缓冲室211中，设置 有对该第二压力缓冲室211的内压进行检测的压力计40(压力检测元件)。

上述的所谓“设有压力计40的位于中央部的压力缓冲室”不仅包括如 除了位于最上游侧的压力缓冲室和位于最下游侧的压力缓冲室之外这一字 面含义这样，在位于中央的压力缓冲室中设置压力计40的情况，还包括在 与位于最上游侧的压力缓冲室和位于最下游侧的压力缓冲室中的任意一方 相邻的压力缓冲室中设置压力计40的情况。另外，在压力缓冲室的数量被 分割为例如四个时，还包括在第二压力缓冲室及第三压力缓冲室两者均设 置压力计40并获取它们的平均值的情况。

在本实施方式中，如图4所示，压力缓冲装置20具有对第二压力缓冲 室211的内压进行检测的压力计40和与第三压力缓冲室212连接的调节阀 42(大气导入装置)。

压力计40是公知的数字式压力计，在内部具有未图示的压力传感器、 电池及电路元件，将由压力传感器检测出的压力信号转换成数值数据后在 显示部43中显示，并且将该压力信号经由未图示的信号线向外部输出。

调节阀42由阀主体44和控制设备45构成，其中，上述阀主体44由 蝶形阀构成，上述控制设备45对阀主体44的开度进行调节。此外，阀主 体44设定为预先确定的阀开度。这是由于，当因蓄热燃烧式废气处理装置 1的驱动产生瞬间的压力变动，而在第三压力缓冲室212内产生较高负压 时，将与该较高负压值相应的外部气体导入第三压力缓冲室212内来使该 第三压力缓冲室212的内压恢复到正常数值。对于调节阀42的设置位置， 在能够对压力变动进行早期抑制的前提下，最好设置在最靠近压力变动的 发生源侧(处理装置)、即第三压力缓冲室212一侧。关于这些，将在后 述的动作说明中进行详细说明。

回到图3，压力计40与压力调节器60电连接，由压力计40检测出的 表示第二压力缓冲室211的内压的压力信号被输出至压力调节器60。压力 调节器60中预先设定有上限、下限设定值，该上限、下限设定值用于在正 常时将第二压力缓冲室211的内压控制为例如比大气压稍低的－5Pa～－ 1Pa的范围内，将该设定值与由压力计40检测出的压力信号进行比较，并 根据其偏差对控制信号进行PID运算。在风扇6的驱动电动机及电源(均 未图示)之间设置有变频器62。变频器62对风扇6的驱动进行控制，使其 转速与从压力调节器60输入的控制信号相对应。

在此，对将第二压力缓冲室211的内压作为控制对象的理由进行如下 说明。如图4所示，在第一压力缓冲室210内，从入口管22流入第一压力 缓冲室210内的被处理气体的速度分布在中心附近变大。此外，因被处理 气体与多孔板29发生冲撞所产生的涡流的影响，而无法获得稳定的静压。

此外，在第三压力缓冲室212内，被处理气体因经过多孔板29的冲压 孔290而暂时被整流，但是，当因蓄热燃烧式废气处理装置1的驱动产生 瞬间的压力变动，而使第三压力缓冲室212内例如为正压的情况下，整流 后的被处理气体的流动发生紊乱，因而无法获得稳定的静压。此外，当第 三压力缓冲室212内例如为较高的负压的情况下，由于与该较高负压值相 对应的外部气体流入第三压力缓冲室212内，因此，会使整流后的被处理 气体的流动发生紊乱，从而无法获得稳定的静压。

这样，若将在无法获得稳定的静压的第一压力缓冲室210、第三压力 缓冲室212中的内压作为控制对象，则很难实现高精度的控制。

与之相对的是，由于在第二压力缓冲室211内部被配置于上游侧及下 游侧的多孔板29分隔，因此，不容易受到第一压力缓冲室210、第三压力 缓冲室212内部产生的静压发生紊乱的影响。而且，被处理气体因经过多 孔板29的冲压孔290而被整流，且第二压力缓冲室211内部的被处理气体 的速度分布呈图示这样地大致均匀的分布，因而能够获得稳定的静压。

这样，通过将不容易受到第一压力缓冲室210、第三压力缓冲室212 的影响且能够获得稳定的静压的第二压力缓冲室211的内压作为控制对象， 从而能够实现高精度的控制。

另外，本实施方式的蓄热燃烧式废气处理装置1所具有的压力缓冲装 置也可以是在图1中说明的形式的压力缓冲装置。

接着，参照图3、图4，对本实施方式的蓄热燃烧式废气处理装置1中 抑制从该蓄热燃烧式废气处理装置1产生的压力变动的动作进行说明。另 外，由于蓄热燃烧式废气处理装置1中的被处理气体的常规处理(被处理 气体供给工序、处理气体排气工序及吹扫工序)与在图6中进行说明的蓄 热燃烧式废气处理装置1’中的常规处理相同，因此，不在此进行再次说明。

首先，蓄热燃烧式废气处理装置1的燃烧室3通过燃烧器2升温到规 定温度，且所要处理的被处理气体量为蓄热燃烧式废气处理装置1的额定 处理量。

压力缓冲装置20的第二压力缓冲室211的内压通过压力计40检测， 将检测出的压力信号输出到压力调节器60。在正常状态下，压力调节器60 通过变频器62对风扇6的转速进行控制，以使第二压力缓冲室211的内压 保持在比大气压稍低的－5Pa～－1Pa的范围内。此时，由于第三压力缓冲 室212的内压也保持为与第二压力缓冲室211大致相等的压力，因此，与 该压力相应的少量的外部气体经由调节阀42持续流入第三压力缓冲室212 中。

在此，当第三压力缓冲室212的内压例如为－5Pa以下的较高负压值 而产生第二压力缓冲室211内的检测压力低于下限设定值(－5Pa)的压力 变动的情况下，则与该较高负压值相对应的外部气体经由调节阀42被吸引 到第三压力缓冲室212。利用吸引到第三压力缓冲室212的上述外部气体， 使第二压力缓冲室211的内压开始回到适当值。接着，从压力调节器60向 变频器62输出使风扇6的转速降低的控制信号。变频器62对风扇6的转 速进行控制，以使其转速与从压力调节器60输入的该控制信号相对应。藉 此，第二压力缓冲室211的内压迅速地回到适当的压力范围(－5Pa～－ 1Pa)。

此外，当第三压力缓冲室212的内压上升至例如－1Pa以上，而产生 第二压力缓冲室211内的检测压力超过上限设定值(－1Pa)的压力变动时 (此时外部气体几乎不流入第三压力缓冲室212)时，从压力调节器60向 变频器62输出使风扇6的转速增加的输出信号，该变频器62对风扇6的 转速进行控制，以使其转速与从压力调节器60输入的该控制信号相对应。 藉此，第二压力缓冲室211的内压迅速地回到适当范围(－5Pa～－1Pa)。

这样，在本实施方式的蓄热燃烧式废气处理装置1中，除了由压力缓 冲装置20的流路截面积的扩大、多孔板29的阻力及流路截面积的缩小所 带来的压力变动的缓冲效果之外，还加上了将不容易受到来自第一压力缓 冲室210、第三压力缓冲室212影响且能够获得稳定的静压的第二压力缓冲 室211的内压控制到比大气压稍低的－5Pa～－1Pa的范围内、以及经由调 节阀42流入第三压力缓冲室212的少量的外部气体等的叠加效果，因而能 够有效地抑制传递至被处理气体导入流路14的压力变动的波动。其结果是， 能够有效地抑制传递至被处理气体的发生源(生产线)50的压力变动。

此外，在第二压力缓冲室211的内压的控制中，虽然与该压力的大小 相应的外部气体会持续流入第三压力缓冲室212，但是，由于流入的外部气 体的量较少，因此，不会使被处理气体的处理量增加。藉此，能够抑制运 转成本的增加和设备整体的大型化。

此外，在本实施方式中，例示了三塔式的蓄热燃烧式废气处理装置来 进行说明，但是，本发明并不限定于此，同样能够适用于具有二个以上的 蓄热室的蓄热燃烧式废气处理装置。另外，未必需要像本实施方式这样在 各蓄热室中的每个上都设置多个开闭阀，也可以如图5所示，适用于使用 一个旋转式切换阀(分配阀)70切换与各蓄热室5A、5B、5C、5D的连接的、 旋转切换阀型的蓄热燃烧式废气处理装置100。