以感光干膜为抗腐蚀掩膜制作玻璃微流体装置的方法

摘要

本发明属于微流体装置制作领域，提供了一种以感光干膜为抗腐蚀掩膜制作玻璃微流体装置的方法，该方法的步骤如下：(1)制作光刻掩膜，(2)清洗玻璃基板，(3)制作感光玻璃板，(4)曝光，(5)显影，(6)刻蚀微流体通道，(7)键合微流体装置。本发明所述方法能够简化玻璃微流体装置的制作过程、提高制作效率，大幅度降低玻璃微流体装置的制作成本，为玻璃微流体装置的批量化生产提供了一种新的途径。