直线电机系统及其控制方法、应用该直线电机系统的光刻机

摘要

本发明涉及新兴机械加工技术领域，公开了一种直线电机系统，包括直线电机和伺服控制器，所述伺服控制器包括控制输入、主控制器、从控制器和两个伺服器。还公开了应用上述直线电机系统的光刻机以及直线电机系统的控制方法。本发明的伺服控制器实时监控直线电机的运行，伺服控制器响应速度快，控制频率宽，控制随意度好。