一种采用激光退火生成镍硅化物的方法

摘要

本发明公开了一种采用激光退火生成镍硅化物的方法，通过采用两次激光退火工艺来制备镍硅化物，同时保证两次激光退火的稳定在一定范围内，可最终得到一电阻率较低的镍硅化物。由于采用激光进行加热退火，相比较传统工艺速度更快，极大提高了生产效率，降低生产成本；同时采用激光可对硅片必要位置处进行加热，而其余位置处则不进行加热，避免在不必要位置处镍产生扩散并与硅反应生成镍硅化物尖峰从而导致漏电流现象的产生，提高了器件性能。