基于原子力显微镜的微纳米结构侧壁表面成像装置及该装置的成像方法

摘要

基于原子力显微镜的微纳米结构侧壁表面成像装置及该装置的成像方法，涉及采用AFM对微纳米结构侧壁表面进行扫描成像的技术。它为了解决传统AFM很难实现对微纳米结构侧壁表面进行扫描成像的问题。本发明在原有的原子力显微镜的基础上增加了探针架，使探针能够绕X轴方向旋转，此外还增加了样品台在XZ扫描平面内的距离伺服控制程序，使样品台能够沿Y方向上接近探针针尖，并达到用户所设定的距离。本发明能够根据不同的样品选择合适的探针旋转角，在不破坏样品的前提下，实现对样品侧壁表面进行扫描成像和表征度，从而实现对不同的样品侧壁表面精确表征。本发明适用于微纳米结构表面表征，亦可用于微纳制造及测试领域。