一种尖锥阴极与锥形栅孔对应的冷阴极三极管

摘要

本发明公开了一种尖锥阴极与锥形栅孔对应的冷阴极三极管，包括阴极、阳极和栅极，所述阴极包括阴极基板和制作在阴极基板上表面的场发射阴极，所述栅极设置在阴极和阳极之间，在栅极上设置有与场发射阴极对应的栅孔；所述阴极基板上表面对应栅孔的位置设置有椎体突起结构，所述场发射阴极至少覆盖住所述椎体突起结构的尖端部位，形成尖锥阴极。本发明提供的一种尖锥阴极与锥形栅孔对应的冷阴极三极管，与传统场发射阴极三极管技术相比，不仅具有发射均匀性好、阴极与栅极间电容小，发射电子束的运动轨迹的汇聚的趋势更明显等优点，还可以避免传统场发射阴极因边缘场过于集中带来的打火、阴极损伤等。