一种基于电容传感的二维复合摆地倾斜低频隔振装置

摘要

本发明具体涉及到一种基于电容传感的二维复合摆地倾斜低频隔振装置。本发明包括圆筒形框架、二维圆柱对称复合摆、电容位移检测系统、两个二维弹性簧片、圆筒形电容极板、两个相同的电磁线圈、四块圆盘形压电陶瓷，二维圆柱对称复合摆设置于圆筒形框架内，由位于上方的圆柱杆正摆和位于下方的具有圆柱对称性的U型倒摆组成。本发明中角位移测量采用高灵敏度电容传感器，克服角度传感器中激光光源角漂移引起的测量误差；反馈驱动执行机采用压电陶瓷，压电陶瓷能承载较大的负载，具有出力大、响应快、分辨率高及控制简单等优点，有利于装置小型化和长期稳定性。