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柔性P掺杂ZnO透明导电氧化物薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种柔性P掺杂ZnO透明导电氧化物薄膜的制备方法,采用固相烧结法制备Zn

著录项

  • 公开/公告号CN103993284A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-08-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 天津大学;

    申请/专利号CN201410241886.9

  • 申请日2014-05-30

  • 分类号C23C14/35;C23C14/54;C23C14/08;

  • 代理机构天津市北洋有限责任专利代理事务所;

  • 代理人张宏祥

  • 地址 300072 天津市南开区卫津路92号

  • 入库时间 2023-12-17 00:15:55

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-06-26

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C14/35 申请公布日:20140820 申请日:20140530

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2014-09-17

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/35 申请日:20140530

    实质审查的生效

  • 2014-08-20

    公开

    公开

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