一种亚微米光子晶体位相阵列光分束器的制作方法

摘要

本发明公开了属于新型电子器件及光信息技术领域的一种亚微米光子晶体位相阵列光分束器的制作方法。该方法为：1）求解二维六角光子晶体位相阵列结构的菲涅耳衍射方程，确定最佳设计参数；2）设计二维亚微米周期结构的六角光子晶体微结构阵列掩膜板，在铌酸锂晶体上刻蚀出微结构阵列极化反转电极；3）对铌酸锂晶体进行电场极化，制备出亚微米结构的六角阵列分布的晶体；4）洗去铌酸锂晶体±z面上的铝电极，在±z面磁控溅射氧化铟锡薄膜平板电极，将铌酸锂晶体±z面与直流电源正负极相接，调节电压的大小来实现位相阵列光分束效应。本发明设计的光分束器具有分束均匀性好、光斑点阵数多、衍射效率高等优点，能够实现信息的并行传输与处理。