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一种测量双极性器件峰值结温分布的方法

摘要

本发明公开了一种测量双极性器件峰值结温分布的方法,属于双极性器件的技术领域。该方法包括采集双极性器件的多阶梯恒流脉冲所对应的温敏参数,获得双极性器件的电流-温敏参数-温度三维曲线簇;选定基准电流,得到基准电流的序列;根据电流-温敏参数-温度三维曲线簇和基准电流的序列,得到电流-有效面积-温敏参数-温度曲线簇;通过多阶梯恒流脉冲多次测试双极性器件,得到零时刻温敏参数;根据零时刻温敏参数和电流-有效面积-温敏参数-温度曲线簇,得到不同有效面积所对应的结温。本发明通过测量器件有源区的相关参数,可以提供更准确可靠的信息,与实际的温度分布和峰值结温符合的较好。

著录项

  • 公开/公告号CN103868612A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-06-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;

    申请/专利号CN201210525358.7

  • 发明设计人 朱阳军;董少华;王任卿;陆江;

    申请日2012-12-07

  • 分类号G01K7/00;

  • 代理机构北京华沛德权律师事务所;

  • 代理人刘丽君

  • 地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号

  • 入库时间 2024-02-20 00:02:49

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-12-04

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01K7/00 申请公布日:20140618 申请日:20121207

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2016-01-06

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01K7/00 申请日:20121207

    实质审查的生效

  • 2014-06-18

    公开

    公开

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