公开/公告号CN103868612A
专利类型发明专利
公开/公告日2014-06-18
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201210525358.7
申请日2012-12-07
分类号G01K7/00;
代理机构北京华沛德权律师事务所;
代理人刘丽君
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2024-02-20 00:02:49
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-04
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01K7/00 申请公布日:20140618 申请日:20121207
发明专利申请公布后的视为撤回
2016-01-06
实质审查的生效 IPC(主分类):G01K7/00 申请日:20121207
实质审查的生效
2014-06-18
公开
公开
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