公开/公告号CN103668064A
专利类型发明专利
公开/公告日2014-03-26
原文格式PDF
申请/专利号CN201210351501.5
申请日2012-09-20
分类号C23C14/08;C23C14/32;H01L51/54;H01L51/52;
代理机构广州三环专利代理有限公司;
代理人郝传鑫
地址 518000 广东省深圳市南山区南海大道海王大厦A座22层
入库时间 2024-02-19 23:58:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-05-11
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C14/08 申请公布日:20140326 申请日:20120920
发明专利申请公布后的视为撤回
2014-03-26
公开
公开
机译: 在镓和锰与氧化锌共掺杂的情况下,具有出色导电性的氧化锌基导体
机译: 氮基双受体共掺杂氧化锌薄膜的制备方法
机译: 增强掺杂镓的氧化锌薄膜中导电的方法及由其制成的薄膜