一种静电驱动式参数激励的微机械固体波动盘形陀螺仪

摘要

本发明提供了一种静电驱动式参数激励的微机械固体波动盘形陀螺仪，包括：一个圆盘形基体、四个非交叉梳齿静电驱动电极、四个交叉梳齿平行板检测电极和八个U型梁，其中：四个驱动电极和四个检测电极分别沿圆盘形基体外环边缘均匀交替配置，四个驱动电极和四个检测电极的末端均设有一个起固定支撑作用的U型梁。本发明利用参数激励的方式驱动圆盘形基体工作，其驱动模态和检测模态互相匹配。本发明采用MEMS体硅加工工艺制作。本发明驱动频率是陀螺仪固有频率的两倍，所以产生的寄生信号不会对检测信号产生干扰；同时，参数激励本身也具有增益大，稳定性强，受阻尼影响小的特点。