法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-08-17
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N21/64 申请公布日:20140528 申请日:20140227
发明专利申请公布后的视为撤回
2014-06-25
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/64 申请日:20140227
实质审查的生效
2014-05-28
公开
公开
机译: 基于激光诱导等离子体(LIP)的原子发射光谱仪,包括原子发射光谱仪的半导体制造设施以及使用原子发射光谱仪制造半导体器件的方法
机译: 基于激光诱导等离子体的原子发射光谱仪装置,包括相同结构的半导体制造设备以及使用相同结构制造半导体元件的方法
机译: 激光诱导等离子体原子发射光谱的方法及其装置