基于cMUT环形阵列的微型光声传感器

摘要

本发明公开了一种基于cMUT环形阵列的微型光声传感器，包括光纤头、透镜、cMUT环形阵列探头、cMUT阵元和透光保护膜。本发明具有以下有益效果：实现无损光声激发与传感的一体化微型结构，可广泛应用于血糖血氧检测、脑损伤诊断、乳腺癌普查、内窥式医学成像、工业检测与探伤等领域。