一种碲镉汞红外材料器件双面平坦化方法

摘要

本发明公开了一种碲镉汞红外材料器件双面平坦化方法，包括：步骤A：将外延制备的碲锌镉基碲镉汞材料正面进行正面平坦化处理；步骤B：将表面平坦化处理后的正面进行标准的碲镉汞器件制备；步骤C：在互连之前将制备的碲镉汞器件正面进行光刻胶保护，将器件正面粘结在玻璃板上；步骤D：测试碲镉汞器件表面的厚度；步骤E：对器件背面的碲锌镉衬底进行背面平坦化。通过本发明大大提高了碲镉汞材料器件的平面度，满足大面阵红外焦平面器件与Si读出电路的互连要求。