用激光器制备α_SiO膜的激光光致化学气相反应装置

摘要

本发明公开了一种用激光器制备α_SiO膜的激光光致化学气相反应装置，其特征在于：包括有反应炉，在所述的反应炉内设有石英管，在所述石英管一端上设有能让激光束透过的窗口，在所述石英管设有窗口一端上设有第一进气口和第二进气口，在所述石英管另一端上设有真空泵连接管，在所述石英管内设有基片架。本发明的目的是为了克服现有技术中的不足之处，提供一种结构简单，生产成本低，用激光器制备α_SiO膜的激光光致化学气相反应装置。