一种直拉法生长低电阻率单晶硅用掺杂装置及掺杂方法

摘要

一种直拉法生长低电阻率单晶硅用掺杂装置，包括固定支架、盛料杯、导流管、卸料杯、锥形底托及连接杆，固定支架上开设有通孔；盛料杯穿过该通孔并由其外壁上的凸缘搭载在固定支架上，盛料杯的下端连接导流管；卸料杯呈两端开口的筒状，其外壁上设有凸缘，该卸料杯套设在该盛料杯内，并可以沿盛料杯的内壁上下移动；锥形底托的下端恰与卸料杯的内壁接触，并可沿卸料杯的内壁上下移动；连接杆的上端连接单晶炉的籽晶提拉轴，并通过连接件连接固定支架，连接杆的下端连接锥形底托的上端。掺杂剂经锥形底托与卸料杯间形成的缝隙流入盛料杯，并通过导流管流进硅熔体中，能避免气态掺杂元素逃逸损失，生长出低电阻率、高掺杂的单晶硅。