INGAAS光电二极管阵列

摘要

本发明涉及InGaAs光电二极管阵列（101）并且涉及用于制造InGaAs光电二极管阵列（101）的方法，其中所述阵列包括：阴极，所述阴极包括至少一个磷化铟衬底层（4）和有源铟镓砷化物层（5）；以及多个阳极（3），所述多个阳极（3）通过扩散P型掺杂剂至少部分地形成于所述有源铟镓砷化物层中，阳极（3）和阴极之间的相互作用形成光电二极管。根据所述方法，在形成所述阳极（3）的P型掺杂剂的扩散之前在有源层上设置磷化铟钝化层（6），以及执行第一选择性蚀刻以在其整个厚度上去除钝化层（6）的包围每个阳极（3）的区域（10）。

说明书

技术领域

本发明涉及光电二极管阵列，并且更具体地涉及基于铟镓砷化物（InGaAs）和磷化铟（InP）的光电二极管阵列，以及其制造工艺。

背景技术

用于由具有小带隙的半导体材料制成光电二极管（经常用于红外光检测）的方法之一包括在两个大带隙半导体材料之间插入检测有源小带隙层。两个大带隙半导体层为有效保护/钝化，同时保持对预期被光电二极管检测到的辐射的波长透明。

并且，通过合适的掺杂，在有源层和两个保护/钝化层之间的两个异质结限制有源检测层中的光电荷，并因此提高了内置光电二极管的量子产率。

InGaAs光电二极管为这种临界结构的典型示例。由InGaAs材料组成的检测有源层可具有根据InGaAs中的铟和镓的组分可调节的带隙，对于在大约1.4到3μm的SWIR（短波红外线）带中操作很理想。

磷化铟和铟镓砷化物具有相同的面心立方晶体结构。最常用的组分为In_0.53Ga_0.47As。晶格尺寸然后与InP衬底的晶格尺寸相匹配，特别是晶格参数。这种晶体兼容性允许在InP衬底上通过外延生长优良品质的有源InGaAs层。In_0.53Ga_0.47As的带隙为大约0.73eV，能够检测到SWIR带中高达1.68μm的波长。它具有在诸如光谱测定、夜视、废塑料的分拣等应用的领域中不断增长的好处。

保护/钝化层两者通常由InP制成。尤其由于组分In_0.53Ga_0.47As具有与InP相同的晶格尺寸，这允许从室温开始的非常小的暗电流。

图1示出了光电二极管的阵列1的物理结构。由InGaAs组成的有源层5夹在两个InP层之间。下层实际上形成衬底4，在衬底4上通过复杂的MO-CVD外延形成InGaAs层。然后，该InGaAs层通过由InP组成的薄钝化层6保护，薄钝化层6也通过外延沉积。InP层通常为N型，采用硅掺杂。InGaAs的有源层5可轻微n掺杂或保持准本征。因此，下/上InP层和有源InGaAs层5两者形成该阵列中的光电二极管的共阴极。

通过锌（Zn）的局部扩散形成单独的阳极3。掺杂剂Zn穿过薄钝化InP层6并且穿透有源InGaAs层5。

图2示出了由InGaAs发光二极管的阵列1组成的InGaAs图像传感器，阵列1与读出电路2按照倒装模式连接。在InGaAs阵列传感器中，发光二极管阵列连接至通常由硅制成的读出电路，以读取通过InGaAs光电二极管产生的光电信号。如图2所示，该互连通常通过倒装工艺经由铟珠7实现。SWIR辐射9通过在该光带中透明的磷化铟衬底4到达光电二极管阵列上。

通过在集成模式下操作的检测器，获得与通量和曝光时间的乘积成比例的输出信号。然而，输出信号受到传感器的最大集成能力限制。对于高对比度的场景，往往不能够获得暗区的良好呈现并同时保持明亮区域没有任何饱和度。这个问题对夜视更为严重，具有InGaAs光电二极管的阵列传感器通常设计用于夜视。

通过文献EP1354360大体上提出并且通过本文所附附图的图3从其原理示出光电二极管读取光电信号的另一种方式。文献EP1354360提出光电二极管的太阳能电池操作模式，以便获得相对于入射光辐射59的强度的对数响应。

在该操作模式下，光电二极管51不接收任何外部偏置并且它通过在其结中产生的光电荷正向偏置。在光电二极管上观察到的直接偏置电压与入射光通量的对数成比例。

该对数响应提供在没有任何电和光调节的情况下覆盖对于在自然户外条件下使用SWIR InGaAs传感器不可缺少的超过120dB的操作动态范围的可能性。文献EP1354360还提出开关读出电路55与光电二极管的关联。

如图3所示的图像传感器的使用的原理如下：

a）启用选择信号SEL以通过闭合开关54选择所需光电二极管51。一旦选择了该光电二极管，则启用第一读出信号RD1，该第一读出信号RD1将闭合对应的受控开关，以将来自存储器56中的第一读出的电压存储到存储器中。该第一读出记录图像和固定空间噪声。

b）然后启用复位信号RSI，该信号将使得开关53闭合。因此，光电二极管51被短路，从而模拟在绝对黑暗中的参考图像。

c）接着禁用第一读出信号RD1，以重新断开对应的开关并然后启用第二读出信号RD2，以将第二读出的电压记录到存储器元件57中。因此，固定空间噪声被单独存储在存储器中。

d）通过差分放大器58计算包含在各自的存储器元件56和57中的存储器存储的结果之差。放大器58的输出信号于是对应于没有固定空间噪声的图像。

通过第二读出，产生对应于黑暗条件的零电压。电子黑暗信号提供抑制阵列检测器中的读出链中的信号偏移的可能性。

通过EP1354360提出的原理被应用于InGaAs传感器中并且极佳地运行。但对于日光场景观察到模糊现象。该现象可简单地描述为图像中的空间分辨率的损失。然而，检测器仍根据对数法则对光的变化敏感。在其他类型的光电二极管中不会观察到该现象，诸如基于硅、InSb或MCT的光电二极管。

发明内容

本发明提出针对InGaAs光电二极管阵列中的这种模糊现象的简单而有效的解决方案。本发明提出的解决方案还允许在集成模式下的传统检测器中的图像质量的提高。

为了这个目的，根据第一方面，提出用于制造发光二极管的阵列的方法，包括：

-阴极，该阴极包括至少一个磷化铟衬底层和一个铟镓砷化物有源层，以及

-多个阳极，多个阳极通过P型掺杂剂的扩散至少部分地形成于铟镓砷化物层中，阳极和阴极之间的协作形成光电二极管，

该方法包括以下步骤：

-在形成阳极的P型掺杂剂的扩散之前在有源层上制造N型磷化铟钝化层，以及

-实现钝化层的第一选择性蚀刻，以在其整个厚度上选择性抑制所述钝化层的包围每个阳极的区域。

根据当前方面的本发明通过以下特征单独地或以它们在技术上可能的组合有利地完成：

-第一选择性蚀刻为采用第一选择性化学蚀刻剂进行的化学蚀刻；

-选择性化学蚀刻剂为盐酸和磷酸的溶液；

-该方法进一步包括后续的钝化步骤，该钝化步骤通过对由第一选择性蚀刻暴露的磷化铟钝化层和铟镓砷化物有源层的经蚀刻区域进行N型掺杂；

-该方法进一步包括用于第二选择性蚀刻的后续步骤，该步骤在有源层的整个厚度上选择性抑制有源层的包围每个阳极的区域；

-第二选择性蚀刻为采用第二选择性化学蚀刻剂进行的化学蚀刻；

-第二选择性化学蚀刻剂为包括硫酸和过氧化氢的水溶液；

-第二蚀刻之后是后续的钝化步骤，该步骤通过对由第一选择性蚀刻和第二选择性蚀刻暴露的磷化铟钝化层和铟镓砷化物有源层的经蚀刻区域进行N型掺杂。

优选地，掺杂深度N包括在0.5μm和2μm之间。

根据第二方面，本发明还涉及发光二极管的阵列，包括：

-阴极，该阴极包括至少一个磷化铟衬底层和一个铟镓砷化物有源层，

-多个阳极，多个阳极通过P型掺杂剂的扩散至少部分地形成于有源层中，阳极和阴极之间的协作形成光电二极管，

-N型磷化铟钝化层，阳极通过P型掺杂剂的扩散至少部分地形成于N型磷化铟钝化层中，并且光电二极管的阵列包括包围每个阳极的区域，在该区域中所述钝化层在其整个厚度上是不存在的。

根据第二方面的本发明通过以下特征单独地或以它们在技术上可能的组合有利地完成：

-光电二极管的阵列包括包围每个阳极的区域，在该区域中所述铟镓砷化物有源层在其整个厚度上是不存在的。

-光电二极管的阵列包括通过N型掺杂钝化的与所述包围每个阳极的区域接触的钝化层和有源层的区域。

根据第三方面，本发明还涉及包含读出电路和根据第二方面的发光二极管的阵列的图像传感器。优选地，读出电路为对数电路。

附图说明

根据阅读以下详细描述，本发明的其他方面、目的和优点将更加显而易见。参照与作为非限制实例给出的所附附图一起考虑的该描述，将更好地理解本发明，并且其中：

-图1，已经加以说明，为示出了现有技术的InGaAs光电二极管的阵列的结构的示意图；

-图2，已经加以说明，示出了由InGaAs光电二极管的阵列组成的InGaAs图像传感器，InGaAs光电二极管的阵列与读出硅衬底上的读出电路倒装连接；

-图3，已经加以说明，为用于制造具有在太阳能电池模式下的光电二极管的对数传感器的框图；

-图4示出了现有技术的光电二极管的阵列中的不同结；

-图5为示出了根据本发明的制造方法的框图；

-图6为示出了光电二极管的阵列的结构的示意图，其中钝化层的包围每个阳极的区域已通过第一选择性蚀刻抑制；

-图7示出了通过N型掺杂被暴露区域对由第一选择性蚀刻进行蚀刻的区域进行钝化的示意图；

-图8为示出了光电二极管的阵列的结构的示意图，其中钝化层和有源层的包围每个阳极中的一个区域已通过第一和第二选择性蚀刻抑制；

-图9示出了通过N型掺杂被暴露区域对由第一和第二蚀刻进行蚀刻的区域进行钝化的示意图；

-图10示出了由根据本发明的光电二极管的阵列组成的InGaAs图像传感器，光电二极管的阵列与硅衬底上的读出电路倒装连接。

具体实施方式

在通过图1所示的现有技术的结构中，可以看出，每个光电二极管包含若干个PN结，若干个PN结包括预期的PN结和一定数量的寄生结。通过图4示出了这些PN结。在阳极3和有源层5之间的PN结31是预期的并且形成光电二极管的阵列的二极管。

阳极3和钝化层6之间的横向寄生PN结32经由钝化层在相邻光电二极管之间形成可能的电流路径。

传统的读出电路通过对光电二极管应用反向偏置在电容器中对光电二极管中的反向电流积分。在这种结构中，光电二极管中的横向寄生结32反向偏置，同时具有增加积分电容器中的另外的寄生电流的效果。该寄生电流降低图像质量，但不在相邻光电二极管之间准产生的任何串扰。这些寄生电流可通过对来自读出电路的原始图像进行复杂的图像处理操作而部分地补偿。

当光电二极管在太阳能电池模式下操作时，结通过入射光正向偏置。在这种情况下，横向寄生结32也正向偏置并且其形成相邻光电二极管之间的电流的通道。由于入射光强度增加，因此该正向偏置变得更显著，从而产生大大降低传感器的空间分辨率的模糊现象。

本发明提出允许抑制InGaAs光电二极管的阵列中的横向导电的结构。如文献EP1354360所述的可在太阳能电池模式下使用根据本发明制造的光电二极管的阵列，即使存在非常强的光强度，也没有任何空间分辨率的损失。这种阵列在集成模式下还与传统的读出电路一起提供图像质量的改进，比如，例如由美国的Indigo/FLIR销售的不同读出电路CMOS ISC9705和ISC9809。电路ISC9705直接在电容器上积分来自光电二极管的光电流（直接注入模式）以及电路ISC9809通过运算放大器积分光电流（CTIA模式）。CTIA模式允许促进检测灵敏度的更显著的电荷-电压转换增益。

图5为示出了用于制造根据本发明的光电二极管的阵列的方法的框图。在获得光电二极管阵列结构之后，例如通过：

-在磷化铟的衬底4上外延生长（步骤S1）有源铟镓砷化合物层5，

-在有源层5上外延生长（步骤S2）N型磷化铟的钝化层6，

-通过选择性地将锌作为P型掺杂剂扩散到钝化层6和有源层5中形成（步骤S3）阳极3，

应用第一选择性蚀刻（步骤S4）以在其整个厚度上抑制钝化层6的包围每个阳极3的区域10。该第一选择性蚀刻选择性地抑制钝化层6直到有源层5。

InP层为N型，采用硅掺杂。InGaAs的有源层5可轻微N掺杂或保持准本征。因此，两个下/上InP层和有源InGaAs层5形成该阵列中的光电二极管的共阴极。

图6为示出了光电二极管的阵列101的结构的示意图，其中钝化层6的包围每个阳极的区域10已通过第一选择性蚀刻抑制。应用掩模15以限定钝化层6的将通过第一蚀刻抑制的区域10。因此，光电二极管的阵列包括包围每个阳极的区域10，在该区域10中钝化层6在其整个厚度上是不存在的。

在每个电极3处，通过第一蚀刻抑制钝化层6的包围每一个所述阳极3的区域10提供抑制通过相邻Zn掺杂形成的相邻的阳极3之间的横向电通道的可能性。

该第一蚀刻优选为通过第一选择性化学蚀刻剂实现的化学蚀刻，第一选择性化学蚀刻剂优选为配方HCl：H₃PO₅的盐酸和磷酸的溶液。

HCl：H₃PO₅溶液允许选择性地溶解钝化层6，钝化层6由磷化铟InP组成并且蚀刻到到达由铟镓砷化合物InGaAs组成的有源层5停止。通过该选择性蚀刻，可以简单的方式获得钝化层6的抑制。

将被抑制钝化层6的包围阳极3的每一个的区域10不必大并且可能受限于光刻的精度。因此，该区域10可保持远离形成阳极3的Zn扩散，在Zn扩散中发现用于捕获光电荷的区域。因此，优选地，第一选择性蚀刻抑制足够远离阳极3的区域10，使得该第一选择性蚀刻不到达P型阳极3和N型钝化层6之间的PN结。

该第一蚀刻优选为化学蚀刻，但它可任选地为干法蚀刻，例如等离子蚀刻。然而，由于化学蚀刻在蚀刻区域中不产生任何物理损害，因此优选化学蚀刻。在每种情况下，由于通过第一蚀刻产生的缺陷离锌的扩散区域足够距离，因此通过第一蚀刻产生的缺陷仅对光电二极管的暗电流有很小影响。

可在该蚀刻之后应用基于绝缘体（例如，氮化硅SiN_x或二氧化硅SiO₂）的钝化。然而，基于绝缘体的钝化不允许界面缺陷的数量的充分减少。

因此，优选地通过对由第一蚀刻暴露的钝化层6和有源层5的蚀刻区域11进行N型掺杂应用钝化（步骤S6）。通过图7示出在该N掺杂后的结构，其中通过N型掺杂对与包围每个阳极的区域10接触的钝化区域6和有源区5的区域11进行钝化。

显著地根据蚀刻的类型，化学或干法蚀刻，以及根据光电二极管的尺寸，所述区域11的N掺杂深度可控制在0.5μm和2μm之间。表面生成被快速重新结合到N掺杂区域中。通过有源InGaAs层5内的该N掺杂形成的异质结抵制光电荷朝向Zn扩散区域，即，捕获区域。因此，提高了量子产率。

通过蚀刻暴露的表面上的P型掺杂形成寄生结，寄生结朝向被暴露表面排出光电荷。如果电子/空穴对的表面生成被限制，则量子产率通过这个寄生结遭受朝向表面排出的光电荷。因此，有利地，通过N型掺杂而不是P型掺杂执行钝化。

优选地，在通过N型掺杂的该钝化之前，应用第二选择性蚀刻，在其整个厚度上抑制有源层5的包围每个阳极的区域20（步骤S5），将意识到，在第一蚀刻钝化层6之后，通过图6所示，有源层5在包围阳极的每一个的区域10处暴露。该第二选择性蚀刻在通过第一蚀刻暴露的有源层的区域处选择性地抑制有源层5直到衬底4。并且，优选地，第二选择性蚀刻抑制充分远离阳极3的区域20，使得该第一选择性蚀刻不到达P型阳极和由N型钝化层6和有源层5组成的阴极之间的PN结。

事实上，钝化层6的包围光电二极管的每个阳极3的区域的选择性抑制抑制了相邻光电二极管之间的横向导电。但是在有源铟镓砷化合物InGaAs层5中的光电荷的横向传播还可能降低包括这种光电二极管阵列的传感器的空间分辨率。包围Zn扩散的InGaAs有源层5的部分抑制可对InGaAs传感器的空间分辨率非常有益。

在其整个厚度上抑制包围Zn扩散的铟镓砷化合物InGaAs中的有源层5的冠部20的第二蚀刻也优选为化学蚀刻并且通过第二选择性化学蚀刻剂实施。对于该第二蚀刻，优选使用配方H₂SO₄：H₂O₂：H₂O的包括的硫酸和过氧化氢的水溶液。这种溶液仅选择性蚀刻由铟镓砷化合物InGaAs组成的有源层5，但保留组成钝化层6和衬底4的磷化铟。

因此，每个光电二极管可与其他光电二极管完全隔绝。图8示出了由第二蚀刻产生的光电二极管的阵列101。光电二极管的阵列101于是包括包围每个阳极的区域20，在该区域20中铟镓砷化物中的有源层5在其整个厚度上是不存在的。

此外，通过H₂SO₄：H₂O₂：H₂O的该第二蚀刻对形成保护结构不受环境氧化的薄层是有利的。

类似于上述，如果该第一蚀刻优选为化学蚀刻，但它可任选地为干法蚀刻，例如等离子蚀刻。然而，由于化学蚀刻在蚀刻区域中不产生任何物理损害，因此优选化学蚀刻。在每种情况下，由于通过第二蚀刻产生的缺陷离锌扩散区域足够距离，因此通过第二蚀刻产生的缺陷仅对光电二极管的暗电流有很小影响。

可在该蚀刻之后应用基于绝缘体（例如，氮化硅SiN_x或二氧化硅SiO₂）的钝化。然而，基于绝缘体的钝化不允许界面缺陷的数量的足够减少。

因此，类似于以上讨论的内容，然后应用通过对由第一和第二蚀刻暴露的钝化层6和有源层5的经蚀刻区域进行N掺杂的钝化（步骤S6）。

然后获得通过图9所示的类型的光电二极管阵列结构101，其中通过N型掺杂钝化与包围每个阳极的区域20接触的钝化InP层6和有源InGaAs层5的区域21。顺便，还可看出通过N型掺杂钝化由第二蚀刻暴露的衬底4的区域。

因此，获得光电二极管的阵列101，每个包括：

-阴极，该阴极包括至少一个N型磷化铟衬底层4和有源铟镓砷化物层5有源层，

-多个阳极3，多个阳极通过P型掺杂剂的扩散至少部分地形成于有源层5中，阳极3和阴极之间的协作形成光电二极管，

以及N型磷化铟钝化层6，在磷化铟钝化层6中通过P型掺杂剂的扩散至少部分地形成阳极3，光电二极管的阵列包括包围每个阳极的区域10，在该区域10中所述钝化层6在其整个厚度上是不存在的。

优选地，阵列101具有包围每个阳极3的区域20，在该区域20中铟镓砷化物中的所述有源层5在其整个厚度上是不存在的。

一旦光电二极管的阵列没有任何横向传导，可再次执行用于金属化并且作为芯片颠倒（倒装）与硅衬底的读出电路装配的相同的制造方法。

图10示出了由根据本发明的InGaAs光电二极管的阵列101组成的InGaAs图像传感器，并且更具体地类似于图9中所示的InGaAs光电二极管的阵列101，InGaAs光电二极管的阵列101与读出电路2芯片颠倒连接。在InGaAs阵列传感器中，发光二极管阵列连接至在硅衬底上制成的读出电路，以读取通过InGaAs光电二极管产生的光电信号。如图10所示，该互连通常通过倒装方法经由铟珠7实现。SWIR辐射9通过在该光带中透明的磷化铟衬底4到达光电二极管阵列上。

优选地，读出电路为如上描述和如图3中所讨论的对数读出电路。