使用电子束感应电浆探针对电子设备进行电性检测

摘要

本发明提供一种非机械性接触信号测量装置，其包括：位于待测结构上的第一导体以及接触所述第一导体的气体。至少一电子束被引导至所述气体中，以在所述至少一电子束穿过所述气体之处在所述气体中形成等离子体。第二导体电性接触所述等离子体。当所述等离子体被引导于所述第一导体上时，信号源经由所述第一导体、所述等离子体及所述第二导体耦接至电性测量设备。所述电性测量设备可响应于所述信号源。