法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-10-19
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01R31/26 申请公布日:20140430 申请日:20140107
发明专利申请公布后的视为撤回
2014-06-04
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R31/26 申请日:20140107
实质审查的生效
2014-04-30
公开
公开
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在用于制造OLED器件的基板上真空沉积的装置
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在制造OLED器件的基板上真空沉积的装置
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在用于制造OLED器件的基板上真空沉积的装置