一种采用溶剂刻蚀法制备喇叭口微通道板的方法

摘要

本发明公开了一种采用溶剂刻蚀法制备喇叭口微通道板的方法。采用喷淋方式依次对微通道板进行酸的微处理及碱的微处理；采用喷射的方式对微通道板进行氢氟酸的处理；采用酸碱处理的方式去除微通道板的芯料，制得喇叭口微通道板。此法的优点是避免了微通道单端喇叭口微通道板制作过程中传统方法带来的微通道板污染问题，不影响微通道板的性能。通过该方法得到的喇叭口通道有利于电子的接收或者X射线的收集，输出端又不发散，因此，在像增强器领域分辨率会提高，在探测领域探测的效率会大大提高。通过试验证明，微通道板开口部分达到了喇叭口的要求，开口面积比达到68%以上，通道板的测试性能得到很好的改善。