一种CMOS片上三维微型磁检测传感器的霍尔传感单元

摘要

本发明涉及一种CMOS片上三维微型磁检测传感器的霍尔传感单元，其特征在于包括至少一个用于检测Z方向磁感应分量的水平霍尔器件和若干个用于检测X和Y方向磁感应分量的垂直霍尔器件，所述水平霍尔器件与垂直霍尔器件通过分布组合的方式设于CMOS片上。有益效果为：能够在100um*100um以内的芯片上以低成本实现精确测量某点磁通量密度B矢量的大小和方向；还能把信号调理电路与传感单元以最近的方式连接，对降低噪声和提高灵敏度极其有利；同时能把数字信号处理部分集成在同一芯片内。