基板支撑用的支撑板以及使用该支撑板的基板处理装置

摘要

本发明公开了一种基板支撑用的支撑板以及使用该支撑板的基板处理装置。本发明的基板支撑用的支撑板以及使用该支撑板的基板处理装置，基板接触并支撑在可拆卸地结合于托板的支撑销上，而支撑销对基板的升温或冷却带来微小的影响，因此基板的升温或冷却所需要的时间较短，从而提高基板处理的生产率。此外，由于基板处于隔离于托板的状态，因此，无需用于从托板隔离基板的其他装置，从而节约了成本。