一种背钝化太阳电池的丝网印刷生产制备法

摘要

一种背钝化太阳电池的丝网印刷生产制备法，经过制绒清洗、高温扩散、二次清洗、前表面氮化硅沉积后，太阳电池背面采用氧化硅钝化，也可以采用氧化铝钝化或者氮硅氧钝化，然后完全采用丝网印刷的方式来制备太阳电池的前后电极。其中背面局域接触电极的制备虽仍采用丝网印刷的方式制备，但是所使用的网版需要重新设计，所用银铝浆料中具有较高的铝含量，且银铝浆料对背面的钝化膜具有一定的刻蚀性。丝网印刷完成后，在高温共烧过程中形成背钝化太阳电池前电极欧姆接触的同时形成背面局域接触，同时铝膜层将相互独立的局域接触电极与背面主电极连接起来，实现载流子的传送。