一种基于双芯光纤干涉条纹的微型三维测量系统

摘要

本发明公开了一种基于双芯光纤干涉条纹的微型三维测量系统，包括计算机处理系统，还包括干涉条纹的生成以及条纹的投射与采集处理；其中干涉条纹的生成在信号部整体框架中，LD光源由光纤耦合器分成两路光纤传输，其中光纤一部分缠绕在压电陶瓷PZT上，光纤一与另一路光纤二集合到双芯光纤，双芯光纤干涉经由光纤发射端发射，经过反光镜投射到被测物表面；采集处理的测量部整体框架中反光镜的反射光线通过透镜、孔径光阑、准直透镜至CCD摄像机并传输到计算机处理系统；测头支撑结构在反光镜下；光纤发射端下设有螺纹调整机构。计算机分析变形条纹获得被测物表面三维信息，适用于狭小空间内物体三维形貌测量，具有测量速度快及测量精度高的特点。