法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-05-08
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/56 申请公布日:20140101 申请日:20130606
发明专利申请公布后的视为撤回
2015-07-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/56 申请日:20130606
实质审查的生效
2014-01-01
公开
公开
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