通过将多孔硅转变成多孔金属或陶瓷来制作微结构的方法

摘要

提出了一种用于制作微结构(100)的方法。该方法从提供具有主表面的硅衬底(102)的步骤开始。然后形成从主表面延伸到硅衬底中的多孔硅层(103)。通过选择性地刻蚀多孔硅层以获得一组多孔硅的突出的微元件(112)而继续该方法；每个突出的微元件从硅衬底的剩余部分(106)突出，由此露出相应的外表面。然后处理突出的微元件以便获得一组相应的导电微元件(115)或绝缘微元件(115′)；通过将多孔硅的至少普遍的部分(从外表面延伸到相应的突出的元件中)分别转变成多孔金属或陶瓷来获得每个导电微元件或绝缘微元件。