基于TRIZ的多功能激光干涉测量装置设计及其方法

摘要

本发明公开了多功能激光干涉测量装置设计及方法，其设计方法是：对贾民(Jiman)干涉仪进行分析，发现该仪器系统的适应性较差，根据TRIZ技术冲突解决原理，改善仪器系统的适应性，同时减弱干涉条纹的明亮度，以矛盾矩阵表推荐的八个发明原理作为增加系统有用功能的技术进化路线，将贾民干涉仪进化成多功能激光干涉测量装置。其组成包括：(1)激光器；（2）楔形体半透明半反射玻璃；（3）第一反射镜；（4）第二反射镜；（5）第三反射镜；（6）第四反射镜；（7）第五反射镜；（8）相位调节器；（9）光电二极管；（10）差分器；（11）相关器。该仪器适用于高精度监测溶液浓度微小变化量、检测固体物体微小变化量和物质波。