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一种基于专家系统的自适应微聚焦X射线检测方法

摘要

本发明公开了一种基于专家系统的自适应微聚焦X射线检测方法,该方法是首先构建基于X射线源焦点和射线通量关系的知识库和一定的推理机制以建立起该领域合理的专家系统,然后在PC上位机输入当前检测对象材料、精度要求等参数,专家系统据此推理出合适的焦点尺寸参数,并通过以太网发至ARM下位机。ARM下位机将目标焦点对应的输出功率发送至高频高压发生器,高频高压发生器再调节管电压、管电流实现焦点控制,达到自适应调节焦点的目的,从而调整成像系统的分辨率,满足各种检测过程的成像需求。

著录项

  • 公开/公告号CN103500719A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-01-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 华南理工大学;

    申请/专利号CN201310455191.6

  • 发明设计人 高红霞;万燕英;胡跃明;

    申请日2013-09-29

  • 分类号H01L21/66;

  • 代理机构广州市华学知识产权代理有限公司;

  • 代理人蔡茂略

  • 地址 511458 广东省广州市南沙区环市大道南路25号华工大广州产研院

  • 入库时间 2024-02-19 21:18:53

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-02-08

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L21/66 申请公布日:20140108 申请日:20130929

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2014-02-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20130929

    实质审查的生效

  • 2014-01-08

    公开

    公开

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