一种适用于原子力显微镜激光测力系统的测力灵敏度标定装置及基于该标定装置的标定方法

摘要

一种适用于原子力显微镜激光测力系统的测力灵敏度标定装置及基于该标定装置的标定方法，涉及原子力显微镜激光测力系统的测力灵敏度标定技术领域。解决了现有标定装置需要对探针施加外力，使探针发生变形和产生磨损，从而导致标定装置无法正常使用，同时由于现有对测力灵敏度的标定方法单一导致标定精度低的问题。该标定装置的探针支架架设在标定机构上，探针装设在悬臂梁的中心，激光发生器用于向探针发射激光，位移探测器用于接收探针反射的激光；通过进行法向局部灵敏度标定、法向全局灵敏度标定、侧向局部灵敏度标定和侧向全局灵敏度标定实现了对测力灵敏度的精确标定。本发明适用于对原子力显微镜激光测力系统的测力灵敏度进行标定。