以压印方式制造选择性成长遮罩的方法

摘要

本发明为一种以压印方式制造选择性成长遮罩的方法，包括有下列步骤：提供蓝宝石基板，形成氮化镓基层及绝缘层及光刻胶层，进行压印，进行曝光及显影，进行干蚀刻及清除光刻胶剂。以本发明的方法所制造的选择性成长遮罩，可使纳米柱的成长更容易成为柱状体，且与蓝宝石基板及氮化镓基层相垂直，每一纳米柱彼此间更互相平行。