法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-06-01
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C14/34 申请公布日:20131113 申请日:20130130
发明专利申请公布后的视为撤回
2015-04-22
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/34 申请日:20130130
实质审查的生效
2013-11-13
公开
公开
机译: 磁控溅射阴极和使用该溅射设备的溅射沉积方法以及具有该溅射设备的溅射设备
机译: 溅射膜沉积设备以及使用该溅射膜沉积膜制造薄膜的方法
机译: 卷到卷溅射设备的使用溅射方法和预处理设备的预处理,可以提高沉积薄膜的粘结强度