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一种带低温泵的表面分析系统

摘要

本发明公开了一种带低温泵的表面分析系统,包括有真空腔体,真空腔体顶部样品架中心直管伸入真空腔体内,且直管底端安装有方形铜块,低温泵的泵体安装在真空腔体底部,制冷机的二级冷头与泵体中的吸附阵侧部接触以冷却吸附阵,铜块底部连接的多根铜丝分别连接至泵体中的吸附阵上。本发明样品的最低温度可以低至25K,完全满足于表面分析实验需要,无须耗费液氮或液氦,并且比一般的液氮或液氦降温获得的温度更低,进而获得更多的实验信息。

著录项

  • 公开/公告号CN103383322A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2013-11-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 安徽万瑞冷电科技有限公司;

    申请/专利号CN201310291315.1

  • 申请日2013-07-11

  • 分类号G01N1/42(20060101);

  • 代理机构34112 安徽合肥华信知识产权代理有限公司;

  • 代理人余成俊

  • 地址 230088 安徽省合肥市高新区海棠路189号

  • 入库时间 2024-02-19 20:16:50

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-12-09

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N1/42 申请公布日:20131106 申请日:20130711

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2013-12-04

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N1/42 申请日:20130711

    实质审查的生效

  • 2013-11-06

    公开

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