法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-12-09
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N1/42 申请公布日:20131106 申请日:20130711
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-12-04
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N1/42 申请日:20130711
实质审查的生效
2013-11-06
公开
公开
机译: 一种用于低温泵以及具有低温泵和前级泵的真空泵系统的操作方法
机译: 低温泵系统,低温泵控制器,低温泵再生方法和低温泵
机译: 能够有效监视低温泵的劣化的低温泵控制装置,低温泵系统以及低温泵监视方法