首页> 中国专利> 用于与环境室和电子显微镜协作的固持器组件

用于与环境室和电子显微镜协作的固持器组件

摘要

本发明涉及一种用于与环境室(101)和电子显微镜协作的固持器组件,环境室呈现流体入口(103),电子显微镜呈现用于使电子显微镜的可抽空部分与电子显微镜的外部分离的真空壁(110),固持器组件包括用于形成与电子显微镜的密封接口的电子显微镜接口,固持器组件包括用于形成与环境室(101)的流体入口(103)的密封对接的环境室接口,并且固持器组件包括用于将流体供给连接到环境室(101)的流体入口(103)的管路(126),特征在于:固持器组件包括第一和第二部分,第一部分能够从第二部分拆卸,第一部分包括管路(126)和环境室接口并且第二部分包括电子显微镜接口,作为结果,第一部分能够在不使第二部分暴露于高温的情况下在所述高温下清洁第一部分。

著录项

  • 公开/公告号CN103258705A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2013-08-21

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 FEI公司;代夫特科技大学;

    申请/专利号CN201310050077.5

  • 发明设计人 H.W.詹德伯根;P.多纳;G.N.A.范维恩;

    申请日2013-02-08

  • 分类号H01J37/26;B08B9/032;

  • 代理机构中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人马永利

  • 地址 美国俄勒冈州

  • 入库时间 2024-02-19 19:50:28

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-04-12

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01J37/26 申请公布日:20130821 申请日:20130208

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2015-03-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/26 申请日:20130208

    实质审查的生效

  • 2013-08-21

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号