用于多个基板的固持器和具有该固持器的腔室

摘要

本发明涉及一种用于在位于一单个腔室中的彼此独立的复数个基板上执行相同或不同处理的基板固持器和一种装配有该基板固持器的腔室。根据本发明，提供一种用于固定复数个基板的基板固持器。该基板固持器包括用于注射气帘气体以将该等复数个基板彼此分隔开的复数个喷嘴。