对阻挡膜进行渗透率测试的系统及方法

摘要

本发明针对利用了一种光腔衰荡光谱（CRDS）技术的系统和方法，该技术用于对蒸气透过率进行测量。在一个实施方案中，有待测量的蒸气成分包含在一个光学空腔之内。然后将光注入到该空腔内直到一个临界水平，并且对所注入的光的衰变时间进行测量。在所注入的光的波长与该蒸气的吸收特征共振时，衰变时间随着蒸气含量的变化而增加。以此方式，蒸气含量引起了更长的衰变时间，并且因此蒸气穿过该薄膜（薄膜渗透率）的量可以即时测定。