193nm波长紫外固体激光器

摘要

一种193nm波长紫外固体激光器，其构成包括579nm固体激光器，沿该579nm固体激光器的激光输方向依次是第一透镜、第二透镜、倍频晶体、聚焦透镜、和频晶体、准直透镜和紫外镀膜滤光片。与传统的193nm的气体放电ArF准分子激光器相比，本发明具有结构紧凑、成本低、维护方便和性能稳定等优点，可以为光刻系统提供优质的紫外光源。