一种低氟MOD法制备YBCO薄膜的方法

摘要

本发明涉及一种低氟MOD法制备YBCO薄膜的方法。该方法在含有三氟乙酸钇、三氟乙酸钡和丙酸铜的混合前驱液中添加聚乙烯亚胺（PEI），使聚乙烯亚胺在前驱液中经反复旋蒸与金属离子发生络合，控制溶液的粘度，增加溶液稳定性。通过调整添加剂的用量，采用一步烧结工艺，经过低温热分解和高温烧结，成功制备得到表面无裂纹、具有双轴织构、晶粒取向优良的YBCO薄膜。薄膜表面无裂纹，孔洞极小，厚度可达到500~600nm，根据THEVADUNUSCHICHTTECHNIKGMBH的CRYOSCAN扫描感应临界电流测试仪在假定薄膜厚度为200nm的条件下，测得临界电流密度