法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-09-09
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/768 申请公布日:20130612 申请日:20130226
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-11-06
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/768 申请日:20130226
实质审查的生效
2013-06-12
公开
公开
机译: 使用含钽前驱体和含氮前驱体的顺序沉积氮化钽
机译: 使用含钽前驱体和含氮前驱体的顺序沉积氮化钽
机译: 使用含钽前驱体和含氮前驱体的顺序沉积氮化钽