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公开/公告号CN103081072A
专利类型发明专利
公开/公告日2013-05-01
原文格式PDF
申请/专利权人 高级技术材料公司;
申请/专利号CN201180041631.2
发明设计人 陈天牛;斯蒂芬·比洛德奥;许志民;中西睦;松冈正弘;中山文雄;张鹏;迈克尔·B·克尔赞斯基;埃马纽尔·I·库珀;凯特·维卡莱里;马康南·佩恩;
申请日2011-08-26
分类号H01L21/302(20060101);
代理机构11219 中原信达知识产权代理有限责任公司;
代理人刘慧;杨青
地址 美国康涅狄格州
入库时间 2024-02-19 19:20:08
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-04-16
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/302 申请公布日:20130501 申请日:20110826
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-05-01
公开
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