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预防干燥期间高纵横比结构崩塌的方法

摘要

本发明涉及降低易碎高纵横比结构在干燥期间所经受的毛细力,以实质上地预防该高纵横比结构在干燥期间损伤的方法。该方法包括修饰高纵横比结构的表面,以使该力充分地减至最小,且因此少于10%的高纵横比特征会在其上具有该特征的结构的干燥期间弯曲或崩塌。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-04-16

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/302 申请公布日:20130501 申请日:20110826

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2013-05-01

    公开

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