法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-03-25
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01S3/23 申请公布日:20130403 申请日:20121220
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-05-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01S3/23 申请日:20121220
实质审查的生效
2013-04-03
公开
公开
机译: 高强度脉冲激光束的衍射方法,瞬态衍射光栅元素,高强度脉冲激光束的预脉冲抑制方法,压缩脉冲激光束的方法,相位共轭光束的产生方法和产生相的方法共轭梁
机译: 脉冲光的产生方法,脉冲激光装置,具有脉冲激光装置的曝光装置以及具有脉冲激光装置的检查装置
机译: 脉冲光产生方法,具有脉冲激光装置的脉冲激光装置,曝光装置和具有脉冲激光装置的检查装置