法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-06-24
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C01B31/04 申请公布日:20130814 申请日:20121023
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-09-11
实质审查的生效 IPC(主分类):C01B31/04 申请日:20121023
实质审查的生效
2013-08-14
公开
公开
机译: 一种用于在半导电表面中选择掺杂剂原子的方法
机译: 一种用于在半导电表面中选择掺杂剂原子的方法
机译: 利用原子和分子束进行表面处理的方法和装置