一种制备非晶硅/非晶锗硅叠层太阳能电池薄膜的装置

摘要

本发明公开一种制备非晶硅/非晶锗硅叠层太阳能电池薄膜的装置，包括真空室及其内设置的等离子发生器，等离子发生器内装有与射频电源相连接的第一电极板和接地的第二电极板，接地的第二电极板设计成“V”字结构，“V”字开口朝向第一电极板，“V”字结构第二电极板分为上板和下板，第二电极板上开设孔径自上至下逐渐增大的气孔，通过将用于产生等离子体的电极板设计成非平行的结构，实现等离子体区域中电场强度沿气体流动方向上的不均匀分布，并通过工艺过程中对不同位置处的气体进行差异化的补偿，达到对锗烷由上至下逐步分解、均匀沉积的目的，实现所制备的膜层组份均匀，显著提升电池的光电转换效率。