法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-04-27
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B08B3/12 申请公布日:20130814 申请日:20130423
发明专利申请公布后的驳回
2013-09-11
实质审查的生效 IPC(主分类):B08B3/12 申请日:20130423
实质审查的生效
2013-08-14
公开
公开
机译: 清洗槽,清洗方法所使用的清洗装置及处理液,
机译: 一种清洁电极的方法,其中,电极包括第一表面和第二表面以及外围边缘,包括提供多个相邻的清洗端口,沿着高速公路运输电极,并引导清洗槽从博基尔喷射出来。和一个系统。
机译: 使用胸膜液流清洗清洗槽中基板的方法