法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-03-23
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01B9/02 申请公布日:20130424 申请日:20121024
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-06-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B9/02 申请日:20121024
实质审查的生效
2013-04-24
公开
公开
机译: 多波长干涉仪,测量装置和测量方法
机译: 多波长干涉仪,测量装置和测量方法
机译: 使用具有至少两个不同波长的光通量的多波长干涉仪,一种测量装置以及一种测量方法