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一种提高极紫外光谱纯度及热稳定性的新型多层膜

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摘要

一种提高极紫外光谱纯度及热稳定性的新型多层膜，属于极紫外光刻领域，该新型多层膜为在基底上依次镀制Si层和Mo层交替的周期性多层膜，还包括热稳定层，所述热稳定层制作在Si层和Mo层交替的周期性多层膜上；本发明通过在Si层和Mo层交替的周期性多层膜上镀制Si

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-08-26

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G02B5/08 申请公布日:20130508 申请日:20130130

发明专利申请公布后的视为撤回
2013-06-12

实质审查的生效 IPC(主分类):G02B5/08 申请日:20130130

实质审查的生效
2013-05-08

公开

公开

1. 一种提高极紫外光谱纯度及热稳定性的新型多层膜 [P] . 中国专利： CN103091744A . 2013-05-08
2. 一种提高了极紫外光谱纯度及抗氧化性的多层膜 [P] . 中国专利： CN104297820A . 2015-01-21
3. MULTILAYER FILM WITH EXTREME ULTRAVIOLET SPECTRUM PURITY AND IRRADIATION DAMAGE RESISTANCE [P] . 世界知识产权组织专利： WO2016168953A1 . 2016-10-27

机译：具有极紫外光谱纯度和抗辐射损伤性的多层膜
4. MULTILAYER FILM WITH EXTREME ULTRAVIOLET SPECTRUM PURITY AND THERMAL STABILITY [P] . 世界知识产权组织专利： WO2016168954A1 . 2016-10-27

机译：具有极高紫外光谱纯度和热稳定性的多层膜
5. EXTRUDABLE POLYMERIC COMPOSITION OF VINYLIDENE CHLORIDE, MULTIPLE LAYER POLYMERIC FILM, AND PROCESS FOR REDUCING OXYGEN PERMEABILITY AND INCREASING THE THERMAL STABILITY OF A VINYLINATE CHLORIDE POLYMERIC FILM [P] . BR8602389A . 1987-03-17

机译：乙烯撑氯化物，多层聚合物膜的可萃取聚合物组成以及降低氧渗透性和提高氯己酸酯聚合物膜热稳定性的方法