一种Pd纳米粒子修饰多孔ZnO纳米片气敏材料及气敏元件的制备方法

摘要

本发明公开了一种Pd纳米粒子修饰多孔ZnO纳米片气敏材料的制备方法，将多孔单晶ZnO纳米片和Pd纳米粒子混合研磨，Pd纳米粒子的质量占多孔单晶ZnO纳米片和Pd纳米粒子总质量的0.3~0.8%，然后在550-650℃的条件下煅烧1-2h，得到Pd纳米粒子修饰多孔ZnO纳米片的气敏材料。本发明灵敏度高，对100ppm丙酮气体的灵敏度高达70,500ppm高达222，而10ppm则达8左右。操作温度低，经过Pd纳米粒子修饰后的ZnO纳米片复合材料，最佳温度为340℃，较单一ZnO纳米片420℃有大幅降低。选择性好，相对丙酮，该气敏元件对一些常见的有机溶剂如乙醇、甲醇、苯和甲苯等并不敏感。