联机生成硅薄膜双结太阳能电池介反射层技术

摘要

本发明关于一种可提升普遍使用的双结非晶硅与微晶硅叠层薄膜太阳能电池效率的新颖双结技术方法,其目的系藉由此技术将顶电池的电流密度提升，并可减薄顶电池的本徵层厚度，同时也减少了光衰现象，最大特点为所有工艺不需昂贵的气体使用，即可达成高效率低成本的大量生产目标。本发明为一种可取代现有的双结氢化非晶硅与微晶硅双结太阳能电池的氧化锌介反射层新颖发明，利用二氧化碳的等离子表面处理技术引进，形成低反射率的硅氧键结介反射层生成物，形成一全反射条件，而加强利用入射光，造成顶电池的电流密度提升，而达成高效率、低成本的硅薄膜太阳电池广泛应用的目标。