具有微晶吸收体层和钝化层的薄膜太阳能电池以及制造这种电池的方法

摘要

光伏电池60包括衬底31、透明导电氧化物的前或第一电极42以及微晶硅的至少一个p-i-n结43，所述p-i-n结43包括第一n掺杂硅子层44和第二p掺杂硅子层46以及具有基本上本征微晶硅的第三子层45。包括基本上本征非晶硅的钝化层45布置成：a)位于微晶本征子层45和n掺杂硅层46之间，或者b)成为嵌在微晶本征子层45中的层，或者c)这二者。用于制造这种光伏薄膜硅太阳能电池的方法包括：提供在其上具有TCO前电极42的透明衬底41；沉积p掺杂Si层44、微晶硅本征层45、来自基本上本征非晶硅的钝化层55、n掺杂Si层46以及后电极层48。