一种超磁致伸缩微位移自感知驱动方法及执行器

摘要

一种超磁致伸缩微位移自感知驱动方法及执行器属于超精密加工与测量领域，特别涉及一种快速超精密定位运动控制方法和装置。方法基于逆磁致伸缩效应，外力导致超磁致伸缩材料的磁导率变化，即激励线圈的电感变化，通过测量线圈电感实现力的自感知。方法采用电感电桥测量激励线圈电感，调节匹配感抗和阻抗使电桥平衡，当受到外力扰动时，电桥失去平衡，通过差动运放测量不平衡电压得到激励线圈的电感值变化量，得出扰动力大小。执行器主要由圆柱型超磁致伸缩棒、激励线圈、弹性膜片和水冷套构成，根据上述方法，圆柱形线圈既提供驱动磁场也作为测量扰动力的传感器，在进行高速超精密定位运动过程中，减小外界扰动力产生的误差干扰。